真空设备制造产业发展研究报告阐述了世界真空设备制造产业的发展历程,分析了中国真空设备制造产业发展现状与差距,开创性地提出了“新型真空设备制造产业” 及替代品产业概念,在此基础上,从四个维度即“以人为本”、“科技创新”、“环境友好”和“面向未来”准确地界定了“新型真空设备制造产业” 及替代产品的内涵。真空设备产品可分为五大类:1、真空获得设备--产生、改善或维持真空的装置。包括各种获得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空机组。 A、机械真空泵:旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。 B、蒸汽流真空泵:水蒸汽喷射泵、油增压泵和油扩散泵等。 C、气体捕集真空泵:钛溅射离子泵、低温泵、分子筛吸附泵和锆铝吸气泵等。 D、真空机组:即由产生真空、测量真空和控制真空等组件组成的各类机组。
2、真空应用设备~在真空环境下(低于一个大气压的气体状态),应用的各种设备。 A、真空镀膜机:蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、离子镀膜机和等离子化学沉积装置等。 B、真空冶炼炉:电阻炉、电子束炉、电弧炉、感应炉和单晶炉等。 C、真空热处理炉:淬火炉、回火炉、退火炉、渗碳炉、渗氮炉和渗金属炉等。 D、其它真空设备:冷冻干燥设备、蒸馏设备、提纯设备、浸渍设备、果蔬保鲜设备、运输设备、空间模拟设备、包装机和钢水脱气装置等。3、真空测量仪器一测量低于一个大气压的气体和蒸汽压力的仪器。 A、低真空计(测量范围105---102Pa)。 B、中真空计(测量范围l02一l0-1Pa)。 C、高真空计(测量范围l0-1一10-5Pa)。 D、超高真空计(测量范围< 10-5Pa)。4、真空检漏仪一检测真空系统或元件漏孔的位置或漏率的仪器。包括高频火花检漏仪、卤素检漏仪和氦质谱检漏仪等。5、真空阀门一在真空系统中,用于调节流量、切断或接通管路的元件。包括插板阀、挡板阀、电磁阀、电磁带放气阀、隔膜阀和调节阀等。