该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。真空系统的基础规定是都有哪些?1.在被抽器件或工作中房间内得到需要的極限真空泵和工作中真空度。 极限真空度就是指器件在无漏放气时所做到的真空度,工作中真空度就是指在器件开展真空泵解决时能够保持的真空度。真空泵解决时通常要释放很多汽体，这时候的工作中真空度将明显地小于極限真空度。2.为得到某一工作中真空度需要的時间 这時间决策于真空系统抽速的尺寸。提升抽速可减少这一时间。大的个人工作室显而易见要大的抽速。有时候个人工作室尽管并不大，但因为漏放气比较严重，则真空系统也要大的抽速，不然很多的漏放气将大幅度降低真空度，使系统软件没法工作中。
3.在被抽器件或工作中房间内有适合的残气成份 实践经验，单纯性提升和确保極限真空度及工作中真空度是不足的，还解决残留汽体成份有一定的规定。比如真空泵拍摄器件，以便维持在一年使用寿命期限内敏感度的减少不超巧，规定器件内的残留汽体的氧气含量应不高过10-2Pa耐髙压的真空开关管中，应不带有氮氧化合物分子结构这些。真空系统的残气成份，如系统软件中无其他气动阀门，则关键在于泵的特点。4.真空系统还务必构造简易、特性靠谱、实际操作维护保养便捷、价格低等 要考虑这种规定，务必从泵的挑选、管路规格的明确及布局、机械加工工艺等各个方面综合性考虑到。所述这种基础规定常常是互相联络的。5.自动化技术规定 伴随着电子信息技术的发展趋势，客户对真空系统的自动化技术规定也持续提高。针对真空系统，自动控制系统主要是对机械泵总流量和真空度的调整。真空度经常根据调整机械泵总流量、安裝溢流阀、减压阀来操纵。用节流阀的方法动能损害大、造成附加噪声，最好立即调整机械泵的转速比。
